Für die Produktion der intelligenten Sensoren und Aktoren von morgen in Anwendungen wie Ultraschallwandlern (pMUT), Mikrospiegeln und Tintenstrahlköpfen ist diese Technologie unerlässlich.
Das Team des Forschungsbereichs Microsystem Technologies bei SAL in Villach installiert eine neue CLUSTERLINE® 200 Dünnschichtanlage mit einem innovativen neuen PZT-Beschichtungsmodul für die Bearbeitung von 200mm-Wafern. Mohssen Moridi, Leiter der Forschungsabteilung Microsystem Technologies bei SAL, kommentiert: “Die Anschaffung dieses neuen Beschichtungssystems verbessert die Fähigkeit, unsere Industriekunden mit einer ganzen Reihe neuer Dünnschichtprozesse auf einer Anlage zu unterstützen, die ihren eigenen Produktionshallen entspricht. Wir freuen uns darauf, die Installation der Anlage mit den Ingenieuren von Evatec Europe abzuschließen und erwarten, dass die ersten Schichten in unserem neuen PZT-Modul im vierten Quartal 2021 abgeschieden werden”.
Laut Christina Hirschl, Leiterin der Division Sensor Systems und Standortleiterin bei SAL in Villach, gibt es „jetzt ein absolut innovatives Tool im Haus das einzigartige Prozessmöglichkeiten bietet und welches wir gemeinsam mit Evatec weiterentwickeln möchten. Davon profitieren nicht nur die Global Player in der Halbleiterindustrie, sondern wir können auch kleinen und mittleren Unternehmen einzigartige Beschichtungstechnologien als Dienstleistung anbieten.“
Über Silicon Austria Labs (SAL)
Silicon Austria Labs GmbH (SAL) ist Österreichs Spitzenforschungszentrum für elektronikbasierte Systeme. An den Standorten Graz, Villach und Linz wird in den Bereichen Sensor Systems, Power Electronics, RF Systems, System Integration Technologies und Embedded Systems an zukunftsweisenden Lösungen für Umweltschutz, Gesundheit, Energie, Mobilität und Sicherheit geforscht. SAL bringt dabei wesentliche Akteure aus Industrie und Wissenschaft und damit wertvolle Expertise und Know-how zusammen und betreibt kooperative, anwendungsorientierte Forschung entlang der Wertschöpfungskette. Kooperative Projekte werden von SAL kofinanziert und ermöglichen einen unbürokratischen und schnellen Projektstart. Damit gestaltet SAL den Hochtechnologiestandort Österreich und Europa entscheidend mit.
Über Evatec
Das tägliche Geschäft von Evatec reicht von der Entwicklung und Herstellung der besten Lösungen für die Dünnschichtproduktion für die HB-LED-Beleuchtung für Automobile bis hin zur Gesichtserkennungstechnologie für Mobiltelefone. Das Know-how findet Anwendungen in der Halbleiter-, Optoelektronik- und Photonikindustrie. Die Beschichtungstechnologien ermöglichen die Abscheidung neuer Materialien, bieten eine fortschrittliche Prozesssteuerung für neue Leistungsniveaus der Schichten und werden mit innovativer Systemtechnik für niedrigste Produktionskosten geliefert.
